Bằng các thành phần quang học với sự kết hợp khác nhau, kết hợp với phần mềm, cũng có thể là các bài kiểm tra hiệu suất động của máy, chẳng hạn như độ chính xác định vị của máy có thể được đo, độ chính xác định vị lặp lại và các thông số động, chẳng hạn như kiểm tra độ rung của máy công cụ chính xác vi dịch và phân tích, phân tích đặc tính động của truyền động thanh răng, phân tích đặc tính phản ứng của hệ thống lái, phân tích đặc tính động của đường dẫn, v.v., có độ chính xác và hiệu quả rất cao, xử lý dữ liệu kịp thời, tạo cơ sở cho việc sửa lỗi máy công cụ .